Enduraz HS04 优异的氧离子耐受性能

高强度氧离子被大量应用于CVD、ETCH的苛刻工艺，使腔体对耐腐蚀性全氟橡胶材料的要求越来越高。
Enduraz HS04作为新一代全氟橡胶材质具备较强的耐氧能力，而且其严格的材料选择和制造过程保证了材料高洁净度，从而满足先进制程的要求。
Enduraz HS04的工作温度可达 300°C，并具备优越的机械性能，可应用于静态和动态晶圆加工应用环境，如门阀、腔体以及管路密封等。