国内首个半导体全氟密封产线开足马力

金牛奋蹄。瞄准“十四五”时期规模倍增目标，牛年第一个工作日，上海三大先导产业——集成电路、生物医药、人工智能就已展现出火力全开的“硬核”实力：国内首个半导体全氟密封产线在临港新片区开足马力，张江科学城全球首创新药多扎格列艾汀争分夺秒完成最后的上市冲刺……大家铆足牛劲，满怀新的希冀，开启新的征途。

像橡皮泥一样的原材料通过大大小小的模具进行产品成型，通过洁净车间高温二次硫化和表面处理，一件件高端半导体全氟密封产品就出炉了……牛年新春第一个工作日，位于临港新片区的上海芯密科技有限公司生产线便开足了马力。

这家企业的产品是生产集成电路所需的五种主要耗材之一，这里也有国内首家全流程国产产线，超洁净、耐高温、强耐腐蚀的全氟密封圈产品从去年8月起交付客户使用，逐步融入集成电路行业的产业链条。

“半导体生产工艺中经常有含氟含氢气体遇到高温的情况，当处于高能态的气体流接触到改性材料的表面，会引起材料表面物理和化学的变化，对密封材料形成很强的腐蚀。”生产产线的另一边，芯密科技首席执行官谢昌杰正在组织研发人员举行产品质量管理改良会议。目前，芯密科技正不断改良产线流程，不断减少产品表面瑕疵，让全氟密封产品的质量更加稳定。

芯密科技研发部门由资深材料学博士领衔，整个研发团队具备多年跨国企业研究经验及全氟橡胶研发经验，目前已在研究第四代全氟密封产品，同时，公司也与国内知名高校进行定向科研合作，进一步扩充材料与产品的性能分析测试能力。

临港新片区是上海集成电路产业发展重镇。去年10月，东方芯港集成电路综合性产业基地正式启动，已逐步形成覆盖装备、材料、芯片设计、制造以及封装测试全链条的产业集聚。

随着“朋友圈”企业的不断加入，芯密科技也计划在“十四五”时期增加投资，在新片区建设先进的半导体全氟密封产品生产线，实现半导体全氟密封产品全品类的可国产化。今年1月，芯密科技与临港集团签约，二期项目落地临港产业区翡翠园，预计6个月后就能投产，除了目前一期项目中的静密封、管路密封产品之外，门阀以及钟摆阀密封等产品也将投产。

虽然是行业内的新面孔，但芯密科技已成为中国集成电路零部件创新联盟成员。同时，公司集研发、设计、制造、销售能力于一体，与国外同类公司相比，效率更高，订制产品的时间一般在三周左右，这一周期是同行的一半。

芯密科技首席运营官张栋和同事们一直为当初选择上海、选择临港的决定而感到欣慰，他们不光成为新片区首批享受所得税优惠政策的重点企业之一，员工也能享受特殊人才政策，在公司周边就近申请公租房。除此之外，新片区得天独厚的创业环境和优良的产业政策也让张栋感触良多：“从一期到二期，从用电用水到一项项政策落实，芯密科技项目仅用时8个月就达成了，新片区管委会和临港集团的‘店小二’服务让企业能够顺利发展，公司力争在5年内实现年产值3亿元，并将进一步拓展市场，满足航空航天、油田等行业对全氟化密封产品的需求。”